Вторично-ионная масса спектрометрия — страница 8

  • Просмотров 5735
  • Скачиваний 451
  • Размер файла 410
    Кб

интенсивность электронного луча в ЭЛТ. Получаемое при таком методе увеличение изображения равно отношению длины строки на экране ЭЛТ к расстоянию на поверхности образца, пробегаемому первичным ионным пучком в процессе сканирования. Все установки ВИМС позволяют осуществлять анализ поверхности и распределения концентрации элемента по глубине. Они различаются в таких важных отношениях, как порог чувствительности при

детектировании, разрешение по массам, плотности тока первичного пучка, вакуумные условия в окрестности мишени, а также возможность проведения анализа распределения элементов по поверхности, или топографического (x-y) анализа, путем сканирования зондом или формирования изображения. К устройствам для топографического анализа относят лишь те, которые позволяют получить разрешение по поверхности не хуже 10 мкм. Все существующие

установки ВИМС можно разделить на три группы в соответствии с принципом их устройства и пригодностью для микроанализа: ·      не позволяющие осуществлять анализ распределения элементов по поверхности; ·      дающие сведения о распределении по поверхности с помощью сканирующего ионного зонда; ·      дающие сведения о распределении по поверхности методом прямого изображения. Установки, не

обеспечивающие анализа распределения частиц по поверхности Ряд вторично-ионных масс-спектрометров был сконструирован для решения частных аналитических проблем или исследования различных закономерностей вторичной ионной эмиссии. Использованные на ранней стадии исследований этого явления анализаторы с однократной фокусировкой (секторные магниты) имели весьма ограниченное разрешение по массам и низкую чувствительность,

что было обусловлено большим разбросом начальных энергий вторичных ионов. В настоящее время большое внимание уделяется квадрупольным анализаторам, поскольку они, будучи просты и недороги, позволяют получать сведения о поверхности и профиле концентрации примеси почти во всех случаях, когда не требуется информации о распределении по поверхности или очень малых количествах примеси. Добиться снижения фона при работе с

квадрупольным фильтром масс можно за счет предварительной селекции вторичных ионов плоскопараллельным электростатическим анализатором с малой диафрагмой, а также внеаксиального расположения ионного детектора. Установки, позволяющие получать сведения о распределении элемента по поверхности, со сканирующим ионным зондом Установки ВИМС, относящиеся к этой категории, обычно называют ионными зондами. В этих установках