Полупроводниковые пластины. Методы их получения

  • Просмотров 2953
  • Скачиваний 194
  • Размер файла 370
    Кб

Ââåäåíèå Ñîâðåìåííûå ïîëóïðîâîäíèêîâûå ïðèáîðû è èíòåãðàëüíûå ìèêðîñõåìû ïðåäñòàâëÿþò ñîáîé ÷ðåçâû÷àéíî ñëîæíûå

óñòðîéñòâà, îòäåëüíûå êîìïîíåíòû êîòîðûõ èìåþò ðàçìåðû íå áîëåå äîëè ìèêðîìåòðà. Èçãîòîâëåíèå òàêèõ óñòðîéñòâ

îñóùåñòâëÿåòñÿ íà ìîíîêðèñòàëëè÷åñêèõ ïîëóïðîâîäíèêîâûõ ïëàñòèíàõ ñ èñïîëüçîâàíèåì ôîòîëèòîãðàôèè. Ïîëóïðîâîäíèêîâûå

ïëàñòèíû, ïðåäíàçíà÷åííûå äëÿ ôîðìèðîâàíèÿ èçäåëèé ìèêðîýëåêòðîíèêè, õàðàêòåðèçóþòñÿ ñoâepøåííîé àòîìíîé ñòðóêòóðîé è

âûñîêîé ãåîìåòðè÷åñêîé òî÷íîñòüþ îáåñïå÷åíèÿ ýòèõ êà÷åñòâ ðàçðàáîòàíà îðèãèíàëüíàÿ òåõíîëîãèÿ ìåõàíè÷åñêîé,