Микродисплеи — страница 7

  • Просмотров 5777
  • Скачиваний 505
  • Размер файла 205
    Кб

поликремний типа Continuous Grain Silicon с очень высокой подвижностью носителей, близкой к монокристаллическому состоянию. На основе этого материала была разработана активная матрица тонкопленочных транзисторов для МД с разрешением 1280 x 1024, размером пикселей 45 x 32 мкм при числовой апертуре 63%. Хроническим недостатком высокотемпературных HTPS-технологий считается необходимость использования дорогих кварцевых подложек. В технологии

"Silicon-on-Glass", разработанной специалистами фирмы Kopin Corp.(США), сначала методом ISE (Isolated Silicon Epitaxy) на кремниевой подложке наращивают толстый слой монокремния, в котором стандартными технологическими приемами формируется высокоплотная матрица МОП-транзисторов вместе со строчными и столбцовыми ИС драйверами. Затем этот слой отделяют от кремниевой подложки и переносят на стеклянную подложку (рис. 7). На последней стадии

осуществляют сборку ЖК МД. Несмотря на то, что ISE-процесс достаточно сложен и дорог, выигрыш в повышении числовой апертуры для матриц высокого разрешения несомненен. Последняя разработка фирмы Kopin - миниатюрный АМ-модуль с диагональю 1,5 дюйма, содержащий 2560 x 2048 ЭО с интегрированными драйверами столбцов и строк для нашлемных проекционных устройств. Уровень производства МД по данной технологии на конец 2000 г. составлял около 20 000 в

месяц. Особый интерес вызывает низкотемпературная LTPS-технология, развиваемая фирмой Sanyo и позволяющая перейти от кварцевых к более дешевым стеклянным подложкам. Первый МД на основе такой технологии с диагональю 0,5 дюйма имел разрешение 521 x 218 ЭО. 3 МД отражательного типа Как правило, микродисплейные устройства такого типа содержат светомодулирующее устройство отражательного типа, выполненное по технологии LCOS (Liquid Crystal-on-Silicon,

ЖК-на-кремнии) или MEMS (Micro-Electro-Mechanical-Systems, микроэлектромеханические системы) и содержащие интегрированные на кристалле схемы адресации строк и столбцов, а также интерфейсную плату сопряжения, блок подсветки и оптическую систему. Три вида MEMS-технологий конкурируют в настоящее время: 1. DMD МД (Digital Micromirror Device, цифровые микрозеркальные приборы), разработанные фирмой Texas Instruments более 15 лет назад и представляющие собой сложную КМОП ИС со

множеством микроминиатюрных зеркал, меняющих свою ориентацию в пространстве под действием электрических сигналов и таким образом способных модулировать падающий на них свет. Первые подобные МД с разрешением 1024 x 768 ЭО появились на рынке в 1998 г., в 1999 г. их разрешение увеличилось до 1280 x 1024, а в 2000 г. - до 1920 x 1080. В настоящее время это практически единственная технология, используемая в проекционных системах HDTV-формата. 2. АМА МД (Actuated