Методика измерения перемещений при помощи лазерных интерферометров

  • Просмотров 3695
  • Скачиваний 491
  • Размер файла 188
    Кб

С О Д Е Р Ж А Н И Е Стр. 1.   Принципы измерения расстояний и линейных перемещений....................3 2 Описание принципа работы и оптических схем интерферометров со счетом полос..............................................................................................5 2.1 Интерферометр со счетом полос на основе квадратурных сигналов........5 2.2 Интерферометр со счетом полос на основе частотной модуляции............7 3 Исследование погрешности измерения

перемещений................................10 3.1 Анализ основных состовляющих погрешности измерения перемещений...................................................................................................10 3.2 Исследование погрешности показателя преломления воздуха...................11 3.3 Определение погрешности измерения расстояния......................................12 3.4 Определение положения ближней и дальней зоны.....................................14

ПРИЛОЖЕНИЯ......................................................................................................15 СПИСОК ЛИТЕРАТУРЫ ....................................................................................25   1. Принципы измерения расстояний и линейных перемещений Обобщенная схема измерения расстояний и линейных перемещений посредством ЛИС на основе двухлучевого интерферометра изображена на рис. 1а. Рассматривая принципы и методы измерения, излучение лазера 1 будем считать идеальной плоской

волной. Интерферометр, состоящий из светоделителя 2, опорного отра- жателя 3 и измерительного отражателя 4, настроен на бесконечно широкую полосу. Интенсивность интерференционного сигнала I на фо- топриемнике 5 изменяется по закону (рис. 1б) I=I0+I~* COS (4pL/l), (1) где I0 и I~ - постоянная составляющая и амплитуда переменной сос- тавляющей сигнала соответственно; 2L - геометрическая разность хода интерферирующих пучков; l - длина волны

излучения. Расстояние от нуля интерферометра О до измерительного отра- жателя 4: (2) где P - порядок интерференции, f - фаза интерференционного сигна- ла I, определяемого формулой (1). 2 Описание принципа работы и оптических схем интерферометров со счетом полос. Метод счета полос заключается в измерении (счете) числа пе- риодов изменения интерференционного сигнала при изменении ГРХ. Для предотвращения ложного счета вследствие