Ионно-сорбционная откачка — страница 2

  • Просмотров 1945
  • Скачиваний 210
  • Размер файла 21
    Кб

используется для хемосорбционной откачки . Распыление активного материала может осуществляться независимо от процесса откачки , например с помощью регулирования температуры нагревателя . Расход активного материала в таких насосах осуществляется независимо от потока откачиваемого газа . Более экономно расходуется активный металл в насосах с саморегулированием распыления . В этих насосах распыление производится ионами

откачиваемого газа , бомбардирующими катод , изготовленный из активного материала . Распыляемый материал осаждается на корпус и анод , где осуществляется хемосорбционная откачка . Рис1. Установившееся распределение концентрации в неограниченной пластине , бомбардируемой высокоэнергетическими ионами . 2R S0 Smax S h X Оглавление TOC o "1-1" Ионно-сорбционная откачка ....................................... PAGEREF _Toc9692035 h 1 Рис1. Установившееся

распределение концентрации в неограниченной пластине , бомбардируемой высокоэнергетическими ионами ............................ PAGEREF _Toc9692036 h 3 Оглавление................................................................................ PAGEREF _Toc9692037 h 4 Используемая литература :............................................ PAGEREF _Toc9692038 h 5 Используемая литература : Л.Н. Розанов . Вакуумная техника . Москва « Высшая школа » 1990 . { Slava KPSS }