Гальванотехника и ее применение в микроэлектронике

Государственный Комитет Российской Федерации по Высшему Образованию Санкт-Петербургский Государственный Электротехнический Университет «ЛЭТИ» Кафедра Микроэлектроники Реферат «Гальванотехника и ее Применение в Микроэлектронике» Студент: Чапчаев В.В. Факультет: РТ Уч.группа: № 2142 Преподаватель: Марголин В.И. Санкт – Петербург 2 0 0 3 Содержание Введение ….………………………………………………………… 3 Электрохимическая обработка

металлов ………………. 3 Электрохимическое обезжиривание …………………….. 4 Электрохимическое травление ……………………………. 4 Электрохимическое полирование ………………………… 5 Электрохимическое осаждение …………………………… 6 Нанесение на поверхность изделий металлических покрытий …………………………………………………………... 6 Меднение ……………………………………………………….. 7 Никелирование ………………………………………………… 8 Оловынирование

……………………………………………… 8 Серебрение ……………………………………………………… 8 Оборудование для нанесения гальванических покрытий …………………………………………………………… 9 Применение гальванотехники в микроэлектронике … 10 Удаление загрязнений с поверхности подложек ……… 10 Электрохимическое нанесение пленок ………………….. 13 Изготовление печатных плат электрохимическим методом ……………………………………………………………… 16

Гальваническое меднение …………………………………… 17 Гальванические покрытия …………………………………… 19 Заключение …………………………………………………………. 22 Список литературы ……………………………………………… 23 Введение Гальванотехника - процесс получения на поверхности изделия или основы (формы) слоев металлов из растворов их солей под действием постоянного электрического тока. Электролитический или гальванический метод нанесения

металлических покрытий был разработан в середине XIX века, но не сразу получил сколько-нибудь значительное промышленное применение – этому препятствовало отсутствие мощных источников постоянного тока. Сущность метода заключается в погружении покрываемых изделий в водный раствор электролита, главным компонентом которого являются соли или другие растворимые соединения – металлопокрытия. Покрываемые изделия контактируют с