Фотоэлектрические свойства нитрида алюминия — страница 9

  • Просмотров 6169
  • Скачиваний 558
  • Размер файла 2406
    Кб

магнитного поля замыкаются между полюсами магнитной системы. При подаче постоянного напряжения между мишенью и анодом возникает неоднородное электрическое поле и возбуждается аномальный тлеющий разряд. Наличие замкнутого магнитного поля у распыляемой поверхности мишени позволяет локализовать плазму разряда непосредственно у мишени. Эмитированные с катода электроны захватываются магнитным полем, и им сообщается сложное

циклоидальное движение по замкнутым траекториям у поверхности мишени. Электроны оказываются в ловушке создаваемой с одной стороны магнитным полем, возвращающим электроны на катод, а с другой - поверхностью мишени, отталкивающей их. В этой ловушке электроны циклируют до тех пор пока не произойдет несколько ионизирующих столкновений, в результате которых электрон теряет полученную от электрического поля энергию. Таким

образом, большая часть энергии электрона прежде чем он попадает на анод, используется на ионизацию и возбуждение, что значительно увеличивает эффективность процесса ионизации и приводит к возрастанию концентрации положительных ионов у поверхности мишени. Это в свою очередь обусловливает увеличение интенсивности ионной бомбардировки мишени и значительный рост скорости распыления, а следовательно, и скорости осаждения

пленок. Помимо этого МРС обладает рядом специфических свойств, основными из которых являются снижение рабочего давления, а также отсутствие бомбардировки подложки высокоэнергетическими вторичными электронами. В результате были получены образцы, конфигурация которых представлена на рисунке 2.1.2. TOC o "1-3" p " " Рис. 2.1.1. Механизм ионно-плазменного распыления нитрида алюминия в магнетронной распылительной системе.

Рисунок 2.1.2. Конфигурация образца нитрида алюминия. (Размеры даны в миллиметрах) 1—контактол; 2 – пленка нитрида алюминия; 3 – алюминиевые контакты 2.2. Измерение вольт-амперных характеристик. Измерения вольт-амперных характеристик проводились с помощью установки, электрическая схема которой приведена на рисунке 2.2.1. Установка состоит из следующих элементов: ·       ·       ·      

·       Исследуемый образец помещается в специально сконструированную измерительную головку (рис. 2.2.2.) Измерительная головка конструктивно состоит из двух частей: верхней и нижней. Верхняя часть головки содержит контакты для подачи питания на образец и площадку для образца. Нижняя часть служит как разветвитель входящих и выходящих проводов. Как известно, уровень тока через фоторезистор на основе AlN очень низкий